Попов Н. А., Акашев Л. А., Кочедыков В. А., Шевченко В. Г.
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
эллипсометрия, окисление, интерметаллид
АННОТАЦИЯ:
Методом эллипсометрии исследованы процессы окисления поверхности интерметаллида Al3Y при температурах 673 и 823 К на воздухе. Получены зависимости толщины оксидных пленок от времени окисления поверхности и определены оптические постоянные пленок и интерметаллида для длины волны света 0.6328 мкм.