А. В. Кайбичев, И. А. Кайбичев
АННОТАЦИЯ
Рассмотрены распространенные способы очистки расплавов кремния. Обосновано удаление примесей в электрическом поле. Оценено влияние состава, температуры, чистоты гелия, прошедшего электричества и напряженности электрического поля. Установлено удаление многоатомных и многомолекулярных ионов в электрическом поле. Определен относительный вклад межэлектродного переноса и испарения в очистку кремния.
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА
испарение, межэлектродный перенос, расплав, полярность, атомная масса, ионы, очистка.
DOI: 10.1134/S0235010619040066