Электроосаждение кремния из расплава KF–KCl–KI–K2SiF6

 Ю. П. Зайков, С. И. Жук, А. В. Исаков, О. В. Гришенкова, В. А. Исаев

АННОТАЦИЯ:

Исследованы начальные стадии электроосаждения кремния на стеклоуглеродном электроде в расплавленной смеси фторида, хлорида, иодида и гексафторсиликата калия при 750°C. Процессы зарождения и роста кремния изучены методами циклической вольтамперометрии, хроноамперометрии и сканирующей электронной микроскопии. Установлено, что при всех исследованных условиях процесс электрокристаллизации кремния протекает по механизму мгновенного зарождения с диффузионно_контролируемым ростом, добавка 2–4 мол. % иодида калия не оказывает существенного влияния на параметры нуклеации кремния. Исследована структура и морфология осадков кремния, полученных в гальваностатических условиях. Показано, что увеличение концентрации иодида калия в расплаве приводит к формированию более компактных осадков кремния.

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:

 электроосаждение, кремний, расплав, нуклеация, рост, диффузия.