Удаление газов из расплава чистого кремния в гелии при слабом межэлектродном токе

А.В. Кайбичев, И.А. Кайбичев

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:

кремний, электричество, ион, водород, азот, кислород, молибден.

АННОТАЦИЯ:

Рассмотрены особенности межэлектродного Si-Mo-переноса газов в гелии из расплава чистого кремния. По результатам опыта при слабом токе обосновано удаление ионов молекулярных соединений газов с кремнием из многослойного поверхностного слоя расплава. Оценены состав и количество этих соединений. Определено окончание очистки расплава кремния от газов.

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *